硅烷特气系统——特气柜设计及气路管道要求

时间:2021-05-02 09:01:41 来源:蓝天音乐厅点击:

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硅烷(SiH4)是一种在常温常压下具有恶臭的无色气体。它还是一种在室温下能着火、在空气或卤素气体中能爆炸性燃烧的剧毒特种气体。

硅烷在高科技行业中应用越来越广泛,这与它的特性有关,同时也与行业的特殊需求有关。

1、硅烷(SiH4)可以通过热分解或与其它气体的化学反应制得单晶硅、氮化硅和氧化硅等一系列含硅物质。

举例:半导体行业中,硅烷SiH4是显示屏制造中最关键的气体之一,与氨气(NH3)结合使用,形成用于a-Si晶体管的氮化硅层;与氧化亚氮(N2O)结合使用形成MO晶体管的氧化硅层。

硅烷管道要求

以上,便是硅烷特气系统中硅烷(SiH4)的作用、特气柜的设计和气体管道要求,因为硅烷的危险特性,要选好特气设备(特气柜)和做好气体管道安装,这样无论你是否使用,你都是可以放心和安全的。感谢您的阅读!

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